三坐標(biāo)測量機(jī)和高精度測長機(jī)等一些精密測量設(shè)備,很多都會采用氣浮裝置作為測量平臺。因為高壓氣體通過空氣軸承中細(xì)小的氣眼進(jìn)入工作面與導(dǎo)軌面之間,會形成均勻的氣隙,因為導(dǎo)軌間沒有摩擦和磨損,就可以保持長期的性能均勻性。空氣軸承的正常工作氣隙在3-10um之間。因此在壓力正常的條件下,保證壓縮空氣的純凈度及導(dǎo)軌面的平面度是空氣軸承正常工作的關(guān)鍵。
要保證空氣軸承正常穩(wěn)定的工作,壓縮空氣必須符合ISO 8573-1標(biāo)準(zhǔn),即含水體積質(zhì)量為6g/m3,含油體積質(zhì)量為05g/m3,微粒粒徑<15 um,體積質(zhì)量為8g/m3。
為保障測量儀器的正常運(yùn)行,空氣壓縮機(jī)輸送出的壓縮空氣溫度要保持在40~80 ℃之間,所以建議安裝冷凝設(shè)備,否則高溫氣體在管道內(nèi)冷凝,會形成大量的冷凝水,勢必將腐蝕管道,產(chǎn)生鐵銹。所以建議對壓縮空氣的管線按照一定方式進(jìn)行布置。
選用的冷凍干燥機(jī)應(yīng)該具備10℃或更低的露點溫度,以防壓縮空氣噴射到導(dǎo)軌面產(chǎn)生冷凝水。管路內(nèi)應(yīng)該設(shè)置排水口,用于排除冷凝水和油。安裝完供氣管線后,在與過濾器連接之前,務(wù)必打開與冷凍干燥機(jī)連接的球閥,用高壓氣體直接清除管線內(nèi)的雜質(zhì)。
空氣過濾器裝置后面的管線禁止采用金屬管線,以防銹跡污染,最好采用柔性管線連接,并且盡量縮短長度,以減少管線中的壓降。
定期維護(hù):每天用干凈綢布擦拭,由內(nèi)向外擦拭氣浮導(dǎo)軌的工作區(qū)域,拖動測量機(jī)的各移動軸,檢查運(yùn)動是否正常;每天要手工排除過濾器及排水口的油、水混合物,并檢查過濾器流量指示器是否工作正常,如果壓降超出規(guī)定的要求,則必須更換濾芯;經(jīng)常用吸塵器清理機(jī)臺表面(防塵罩外表面)及工作環(huán)境,檢查壓力表示值是否正常。